- 1983년 2월, 서울대학교 전기공학과 학사
- 1985년 2월, 서울대학교 전기공학과 석사
- 1990년 3월, 동경대학교 전기공학과 박사

- 1990년 4월-1992년 1월, 일본 히타치제작소 중앙연구소 연구원
- 1992년 2월-1996년 9월, 서울대학교 전기공학부 조교수
- 1996년 10월-2002년 9월, 서울대학교 전기공학부 부교수
- 2002년 10월-현재, 서울대학교 전기공학부 교수

(1) IMU MEMS : 자이로스코프
(2) BIO MEMS : ESI칩, CE칩, BAC칩, 단백질 칩
(3) RF MEMS : RF switch, RF filter, RF probe
(4) OPTICAL MEMS : Micro lens, Micro mirror array (Si type & Aluminium type)