연구실

초소형 전기기계 및 센서를 설계 및 제작하고 응용하는 MEMS(Micro Electro Mechanical Systems) 분야.

A. 연구 분야
- 광학 소자 분야(Optical MEMS)
- 광 기록 및 광 통신, 디스플레이, Spatial Light Modulator에 필요한 시스템 사양 및 응용 기술
- 관성 센서 분야(Inertial Measurement Unit) - MEMS 가속도/각속도 센서 및 응용 기술 개발
- 바이오 응용소자 분야(Bio MEMS) - 마이크로 펌프 및 밸브의 응용 기술, 세포 조작이나 융합, 유전자 분석 시스템에 필요한 사양 및 응용 기술
- RF 소자 분야(RF MEMS) - Phased array antenna system 구현을 위한 phase shifter와 안테나 설계 및 제작 기술, 마이크로 웨이브를 이용한 암(cancer) 측정용 MEMS probe 제작 기술, 고주파 응용을 위한 단결정 실리콘 MEMS 스위치의 설계, 제작 및 측정 기술, millimeter wave용 Half coaxial transmission line filter, LTCC 기판을 이용한 RF MEMS 소자 패키징 기술

A. 최근 관심분야
Gyroscope, CE chip, BAC chip, RF switch, RF filter, RF probe, Micro lens, Single crystal silicon micro mirror array, Piezoelectric cantilever

B. 주요 연구과제
- 서울시 : 바이오칩 혁신 클러스터 거점 구축을 통한 신기술/신사업 창출
- 보건복지부 : 뇌졸중 치료기구 개발을 위한 적혈구의 물리적 특성시험, Flexible 온도센서, 내열 절연 코팅기술 개발
- 과학기술부 : 마이크로미러 어레이를 이용한 펩타이드 라이브러리의 합성 및 고속단백질 분석용 스크리닝 칩의 제작
- 한국과학재단 : 나노 바이오 고속 탐색 시스템
- 프론티어 : BAC (Bead Affinity Chromatography) chip
- 창의적 연구 재단 : MEMS 위상 변조 배열 안테나, 유전용 측정용 RF MEMS 프로브
- 파이오니어 연구단 : 나노 분광학을 이용한 질병의 다중 진단 및 탐색법 개발

A. 논문
[1] Min-Soo Kim, Jong-Ho Kim, Yoon-Sik Lee, Geon-Gyu Lim, Hyang-Beom Lee, Jae-Hyoung Park and Yong-Kweon Kim," Experimental and theoretical analysis of DEP-based particle deflection for the separation of protein-bound particles," Journal of Micromechanics and Microengineering, vol.19, no.1,pp. 015029, Jan., 2009.
[2] Byung-Wook Yoo, Jae-Hyoung Park, I. H. Park, Jik Lee, Minsoo Kim, Joo-Young Jin, Jin-A Jeon, Sug-Whan Kim, and Yong-Kweon Kim, " MEMS micromirror characterization in space environments," Optics Express, vol.17, no.5, pp.3370-3380, Mar. 2009
[3] Yun-Ho Jang and Yong-Kweon Kim." Pull-in voltage uniformity analysis of digitally-operated micro mirror array with torsional springs," Journal of Micromechanics and Microengineering, vol.19 no.3, pp. 035006, Mar., 2009

B. 특허
[1] SiOG 기판을 이용한 미세구동기 및 그 제조방법, 등록번호: 제 10-0591862호